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二氯二氢硅

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二氯二氢硅

  • 详细介绍

Dichlorosilane 二氯二氢硅(SiH2Cl2

Total Purity 纯度≥99.7%

气相杂质Vapor Phase Impurities

Contaminants杂质


Specifications规格

Inert gases

惰性气体

<1000ppm

Monochlorosilane

一氯甲硅烷

<800ppm/w

Trichlorosilane

三氯氢硅

<2000ppm/w

Silicon Tetrachloride

四氯化硅

<300ppm/w

Carbon

<0.05ppm/w

Aluminium

<0.04ppm/w

Arsenic

<0.03ppm/w

Boron

<0.02ppm/w

Lron

<3ppb/w

Phsophorus

<0.05ppb/w

O

<1ppm

Resistivity

电阻系数

>400 ohm-cm

包装规格Standard Package Information

Cylinder Type气瓶规格

44L

Fill Weight充装量

90/50/10

Valve Connection阀门

CGA-678


本文网址:http://www.5gnyl2.com/product/682.html

关键词:南京标准气体,南京高纯气体,南京电子气体

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