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電子混合氣體

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電子混合氣體

  • 詳細介紹

電子混合氣體

氣體組分和用途

組分氣體

平衡氣

用途

硅烷SiH4

He、氬Ar、氫H2、氮N2

外延(生長)

四氟化碳CF4

O2

常用蝕刻

乙硼烷B2H6

He、氬Ar、氫H2、氮N2

摻雜P氣

磷烷PH3

He、氬Ar、氫H2、氮N2

摻雜N氣

磷烷PH3

硅烷SiH4

其他

乙硼烷B2H6

硅烷SiH4

硅烷SiH4

He、氬Ar、氫H2、氮N2

乙硼烷B2H6

He、氬Ar、氫H2、氮N2

磷烷PH3

He、氬Ar、氫H2、氮N2

砷烷AsH3

He、氬Ar、氫H2、氮N2

鍺烷GeH4

He、氬Ar、氫H2、氮N2

包裝規格 Standard Package Information

氣瓶規格

4L、8L、40L、44L

充裝量

壓力和重量不定

閥門

CGA-350/330、QF-21


本文網址:http://www.5gnyl2.com/product/677.html

關鍵詞:南京標準氣體,南京高純氣體,南京電子氣體

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