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電子級高純氣體愿景和氣瓶處理

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電子級高純氣體愿景和氣瓶處理

發布日期:2018-08-07 作者: 點擊:

    近幾年乃至未來,光電子、光伏太陽能、IC 等新材料技術領域將會迅猛發展,這些技術的發展將對高純氣體、混合氣體產生巨大的需求牽引,若沒有高質量的超純、超凈氣體作保證,所有的一切將無從談起。由于眾多的超純電子氣體都具有易燃、易爆、有毒、有害等化學特征,所以為了便于使用,在半導體制程環節,它們幾乎均被稀釋,按一定比例被稀釋的氣體稱謂“電子混合氣體”。電子混合氣體和計量學上的標準氣體有許多相似的特點,但又有許多不同,電子混合氣體除了要保證其配制濃度的高精度外,更需要氣體具有優良的品質,換言之,電子混合氣體必須要確保混合好的氣體中含有的有害雜質不能高于某值。在8 in( 200mm) 以上的IC 生產線,也應對混合氣體中含有的顆粒物進行控制和定值。

    發達國家對電子級高純氣體和電子混合氣體都有一定的標準,但我國在此領域尚屬空白,而國內市場對電子混合氣體的需求無論在“質”與“量”上都有很高的要求,因此,探討電子混合氣體的配制等相關技術十分必要。經過潔凈處理的氣瓶雖然內表光滑,顆粒物、露點、含氧量滿足要求,即氣瓶對盛裝的氣體不能造成污染,但對于低含量的電子混合氣體如SiH4 50 ×10 - 6—H2、PH3 ( 1000 ± 30) × 10 - 6—H2、BCl3 ( 1 ±0. 03) %—N2 類的化學性混合氣,還要對組分的穩定性做一系列的考察,否則很容易產生內表面的“吸附”而導致組分含量下降,甚至完全被“吃掉”,每種組分所用的內標處理方法不盡相同。
    電子高純氣體充裝壓力是用戶和供應商十分關心的問題。發達國家有著明確的規定,對氣瓶中氣體的壓力( 某溫度下) ,混合氣體的體積規定得很清楚,如日本PH3 0. 8%—He 混合氣之規定“充填壓力( 35 ℃) : 14. 7 MPa,充填量: 7. 0 m3 ( 35 ℃) ”,我國目前混合氣的充裝壓力基本上是由供需雙方協商而定,即使供氣方是要達到國際標準的壓力,但我們的氣瓶工作壓力、原料氣的壓力等很難達到。目前,或許因瓶裝工業氣體價格太低的原因,在北方等地區瓶裝高純氮氣的壓力僅有11. 0 MPa,即使是一些外企也因市場競爭一味地降低氣體充裝壓力,如此惡性循環導致我國氣體市場狀況愈加混亂,而政府職能部門的不作為,縱容了這種行為的不斷惡化。所以如何實現國際標準或準則的有效接軌,是政府應該解決的大事,制定修訂我國氣瓶工作壓力國家標準是所有這一切的起點。南京高純氣體

本文網址:http://www.5gnyl2.com/news/360.html

關鍵詞:南京標準氣體,南京高純氣體,南京電子氣體

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